Halbleiter : Temperaturmesstechnik für die Halbleiterherstellung
Mikroprozessoren oder Halbleiterchips begleiten uns täglich und überall – von der Kaffeemaschine bis hin zum Industrie-Server. Im gesamten Herstellungsprozess von Halbleitern werden Temperatursensoren benötigt: von der Waferherstellung über die Dotierung bis hin zur abschließenden Metallisierung und Verpackung. RÖSSEL-Messtechnik ist genau auf die spezifischen Herstellungsbedingungen der Halbleiterindustrie eingestellt. Unsere Expertise liegt in der Verwendung spezieller Materialien und Materialkombinationen, die sensibelste Anwendungen möglich machen. Dazu gehören die Verwendung von Quarzglas und die Kombination mit Keramiken, beispielsweise für Quarz-, Saphir- und Siliziumschutzrohre.
Auch druck- und vakuumdichte Thermoelemente, Hochtemperatur-Thermoelemente und korrosionsbeständige Sensoren für Ätzprozesse gehören zu den Spezialgebieten von RÖSSEL-Messtechnik. Speziell für die Halbleiterindustrie betreibt RÖSSEL-Messtechnik einen Reinraum Klasse 5. So können wir die Erfüllung höchster Qualitätsanforderungen gewährleisten.
Egal, um welchen Prozess es geht, unsere Experten sind der richtige Kontakt!
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Bei Ätzprozessen für die Halbleiterherstellung sorgen Widerstandsthermometer für hochpräzise Temperaturmessung. Spezielle Umhüllungen aus säurebeständigen Kunststoffen schützen die Temperatursensoren vor Säuren und Dämpfen.
Bei der physikalischen oder chemischen Gasabscheidung in horizontalen und vertikalen Öfen werden ausschließlich Thermoelemente eingesetzt.
Spike Thermocouple (Thermoelemente) werden auf der Oberfläche der Prozessrohre zur Heizungsführung verwendet. Sie sind mit speziellen keramischen Befestigungselementen verbunden, die den Sensor optimal an die Quarzoberfläche andrücken. Im Inneren befinden sich Profilthermoelemente zur Prozessüberwachung. Wafer mit Thermoelementen zur direkten Prozessüberwachung (QS) werden zur Kalibrierung und Bestimmung des Temperaturprofils im Ofen genutzt.
Für die Temperaturmessung in Dotieranlagen bieten wir unter anderem spezielle Stufenthermoelemente. Sie werden meist als 5-fache Stufenthermoelemente eingesetzt und aus Edelmetallen gefertigt. Die Anwendung von Quarzglas und die Kombination mit Keramiken sind an die besonderen Bedingungen in den Dotieranlagen angepasst.
Für die Temperaturmessung in diesen Kristallzucht-Anlagen werden spezielle Hochtemperatur-Thermoelemente verwendet, die auch wechselnden Druckverhältnissen standhalten müssen: vom Hochvakuum bis zu einem Druck von 200 bar.
Die Herausforderung für Thermometer in der Verpackungsherstellung besteht darin, die Temperatur sehr schnell zu messen, wenn flüssiger Kunststoff den Chip umhüllt. Zum Einsatz kommen ausschließlich sehr dünne und dennoch robuste Mantelthermoelemente mit extrem kurzen Ansprechzeiten.
Gesteigerte Chipausbeute dank Profiltemperaturmessung
Die Qualitätssicherung der Herstellungsprozesse ist in der Halbleiterindustrie entscheidend für die Ausbeute an Chips. In der Waferbeschichtung sind Miniatur-Thermoelemente notwendig, die bei Temperaturen von 700 °C eine gleichmäßige Beschichtung sichern. Die Herausforderung besteht darin, die Prozesse mit möglichst vielen Sensoren zu begleiten, aber nicht zu beeinflussen. RÖSSEL-Messtechnik hat dafür einen Testwafer entwickelt, der mit nahezu beliebig vielen Sensoren bestückt und auch im Vakuum eingesetzt werden kann. Die Sensoren werden kleberfrei angebracht und können ohne Beschädigung wieder demontiert und neu kalibriert werden – für maximale Prozessqualität sowie Ressourcen- und Kosteneinsparung.
RÖSSEL-Messtechnik – Ihr zertifizierter Partner
Als zertifizierter Hersteller von Temperaturmesstechnik für Industrie und Forschung erfüllen wir höchste Fertigungsstandards. Mit international anerkannten Zulassungen und Kalibrierungen bieten wir Qualität, auf die Sie sich weltweit verlassen können.
